耐プラズマ性 | Oリングメーカーのモリセイ

耐プラズマ性MATERIAL

耐熱材

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[単位 : %]
    MP300B 他社・耐熱材
02=30sccm
180min
重量減少 4.4 11.2
パーティクル 0.1 0.2
02/CF4=15/15sccm
180min
重量減少 1.2 4.2
パーティクル 0.2 0.7
耐熱材

汎用材

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[単位 : %]
    MPB 4275B 4270W MPP
02=30sccm
180min
重量減少 12.5 10.6 4.8 6.8
パーティクル 0.1 0.1 0.7 0.2
02/CF4=15/15sccm
180min
重量減少 2.5 1.6 4.4 6.3
パーティクル 0.7 0.2 0.7 0.4
汎用材