NEXUS-634
1 耐プラズマ試験
NEXUS-634はノンパーフロ・ノンカーボン配合でありながら、プラズマエッチング時における重量減少率が少なくなっております。
測定方法
評価装置：ICPプラズマエッチング装置
評価機器：EIS-700（エリオニクス製）
評価条件
試験片形状：Oリング P-26
ガス・流量：O₂30sccm/SF₆10sccm
RFパワー：500W
圧力：0.057Pa
照射時間：3時間
耐プラズマエッチング試験
2 含有元素比較
蛍光X線分析装置（EDX）を用いて、NEXUS-634の元素分析を行い、現行材と比較しました。ダスト源となる金属を含みません。
測定機器：EDX-720（島津製作所製）
検出元素：Na～U
定量法：FP法。機器内蔵の検量線を用いて、ポリマーをバランスとして定量計算しました。
物性・材料特性
| 試験項目 | 単位 | NEXUS-634 | JIS B2401-1 FKM-70 |
|
|---|---|---|---|---|
| 推奨使用温度 | ℃ | 200～-10℃ | 220～-15℃ | |
| 色 | ー | 青 | 黒 | |
| 常態試験 | タイプAデュロメータ硬さ | ー | A75/S | A73/S |
| 引張り強さ | MPa | 19.7 | 14.4 | |
| 伸び | ％ | 280 | 229 | |
| 100％引張り応力 | MPa | 3.3 | 5.55 | |
| 老化試験 200℃x72hr. |
硬さ変化 | ー | +2 | -1 |
| 引張り強さ変化率 | ％ | -5 | +2 | |
| 伸び変化率 | ％ | 0 | +1 | |
| 圧縮永久 歪み試験 |
175℃ 22hr. | ％ | 6 | 6 |
| 200℃ 72hr. | ％ | 21 | 12 | |
| 流体の種類 | NEXUS-634 | JIS B2401-1 FKM-70 |
|---|---|---|
| 潤滑油 | ◎ | ◎ |
| シリコーングリース | ◎ | ◎ |
| 作動油 | ◎ | ○ |
| 軽油・ガソリン | ◎ | ◎ |
| クーラント液 | ◎ | △ |
| 水系切削油 | ◎ | ○ |
| 熱水・スチーム | ◎ | × |
| 有機酸類 | △ | × |
| 無機酸類 | ◎ | △(硝酸×) |
| 無機アルカリ類 | ○ | △ |
| 酸化剤 | ○ | △ |
| 脂肪族炭化水素 | ◎ | ◎ |
| 芳香族炭化水素 | ○ | ○ |
| 含ハロゲン炭化水素 | ○ | ○ |
| メチルアルコール | ○ | × |
| エチルアルコール | ◎ | ○ |
| エーテル類 | × | × |
| エステル類 | × | × |
| ケトン類 | △ | × |
| アルデヒド類 | × | × |
| アミン類 | × | × |
| N₂O₂Heガス | ◎ | ◎ |
| 耐真空性 | ◎ | ◎ |
| 食品衛生法適合 | ー | ◎ |
※備考 ◎：使用可 ○：影響あるが使用可 △：やむを得ない場合以外使用不可 ×：使用不可
参考として御検討お願いします。使用環境、温度等によっては評価が変わる可能性があります。実際にご確認を行った後に御使用の程お願いします。
作成可能寸法
Oリング：JIS B2401-1 P、G、V、JASO F404、AS568、AN6227、AN6230、S、モリセイ規格、その他
品番によっては金型製作の関係上、納期がかかる場合があります。
その他形状につきましては弊社代理店へご相談ください。
各種製品についての詳細はカタログをご参照ください。
- 本ページに記載したデータは実測値の一例であり、規格値ではありません。
- 記載内容は、性能向上、仕様変更のため断りなく変更する場合があります。
- ご使用の際には、必ず事前にテストを行い、使用可否の判断をお願いいたします。
