NEXUS-634
製品概要 Product
NEXUS-634は耐熱性に優れたフッ素ゴムでありながら、カーボンブラックを使用していないため系への汚染を比較的抑えることが可能です。また、高い耐薬品性があり、熱水スチーム、高温の無機酸などにも使用可能です。
以上の特性から、CVDなどの成膜装置、プラズマエッチングなどで使用されています。
| 分類 | NEXUSシリーズ |
|---|---|
| 材質名 | NEXUS-634 |
| 別称(旧名称) | - |
| 系統 | フッ素系 |
| 耐熱 | 200℃～-10℃ |
| 硬度 | A70±5 |
| 色 | 濃青 |
| 主な使用用途 | フォトリソグラフィ装置など |
|---|---|
| SDS(MDS) | 〇 |
| ケムシェルパ | 〇 |
| 食品衛生法 | × |
| 該非判定書 | × |
| その他 | - |
製品詳細 Product-about
物理的特性 試験結果
引っ張り、ひずみなどの、物理的な要因に対する試験結果です。
| 試験項目 | 単位 | 基準値 | 実測値 | |
| 常態試験 | タイプAデュロメータ硬さ | ー | A75/S±5 | 75 |
| 引張強さ | MPa | - | 22.17 | |
| 伸び | ％ | - | 250 | |
| 引張応力（100%時） | MPa | - | 7.15 | |
| 老化試験 200℃×70h |
硬さ変化 | ー | - | 2 |
| 引張強さ変化率 | ％ | - | -10 | |
| 伸び変化率 | ％ | - | -13 | |
| 圧縮永久ひずみ試験率 200℃×70h |
％ | - | 23 | |
流体使用適正
主な流体に対する使用適正です。
◎：使用可
〇：影響あるが使用可
△：やむを得ないとき以外使用不可
×：使用不可
| 流体の種類 | NEXUS-634 |
| 潤滑油 | ◎ |
|---|---|
| シリコーングリース | ◎ |
| 作動油 | ◎ |
| 軽油・ガソリン | ◎ |
| クーラント液 | ◎ |
| 水糸切削油 | ◎ |
| 熱水・スチーム | ◎ |
| 有機酸類 | × |
| 無機酸類 | ◎ |
| 無機アルカリ類 | △ |
| 酸化剤 | △ |
| 脂肪族炭素水素 | ◎ |
| 流体の種類 | NEXUS-634 |
| 芳香族炭素水素 | △ |
|---|---|
| 含ハロゲン炭素水素 | △ |
| メチルアルコール | △ |
| エチルアルコール | ◎ |
| エーテル類 | × |
| エステル類 | × |
| ケトン類 | × |
| アルデヒド類 | × |
| アミン類 | × |
| N₂O₂Heガス | ◎ |
| 耐真空性 | ◎ |
| 食品衛生法適合 | × |
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Oリング製品情報 Product
Oリングを選定する際は使用する環境によって材質を、使用するミゾの寸法によってサイズを選定し、
材質とサイズ両方をお選びいただいたものが製品名になります。
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