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Q 使用ガス:CIF3、SiHCL3(トリクロロシラン)
上記で使用できるOリングは御座いますでしょうか?
温度はMAX 200℃以下

A 4275BまたはMPBからお試しいただければと思います。
ただし、使用環境によって耐性は変化したしますので
必ずお試いただいてから使用可否を判断いただければと思います。

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