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Q O-RINGの変更を検討しております。
温度:約100~120℃
ガス種:SiCl4/COS/HBr/CH4/CH3F/Cl2/CH2F2/CHF3/
N2/NF3/C4F8/O2/CF4/He/Ar/C4F6
現在カルレッツ9100を使用。

A 4270Wを推奨いたします。

注意:こちらのパーツはシステム用の記述を編集しております。検索が動かなくなる可能性があるので、編集はお控えください。

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