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Q 下記条件において、FKM-70以外で使用可能な材質は何になりますか？
スパッタリングチャンバーにて使用
使用圧力：5-^4Pa台
使用ガス：Ar、O2、N2
使用温度：大気温度と変わらず
A ご教授頂きました条件からの推測になりますが、Oリングからのアウトガスをお気になさるのでしたらやはり脱ガス処理を行ったFKM-70が適切と思われます。
他のフッ素ゴムのうちNEXUS-217やNEXUS-708なども準じて使用可と思われますが、恐れ入りますが材質によってはアウトガスのデータがございません。
もしもアウトガスをお気になさらないのであれば、NBR-70-1という選択肢もございます。
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