モリセイライブラリ
Q パーフログレードでの選定をお願いします。
使用条件: 温度 300°C 、プラズマ: O2、Ar、N2＊積極的なプラズマ暴露箇所ではないようです。
パーフロ以外で使用可能な他材質もあれば、別途 ご教授の程、宜しくお願い致します。
A 耐熱300℃で耐プラズマ性のある材質としてPERCITY-1075がございます。
なお、積極的にプラズマに触れないのであればMP300B、6470SBでもご使用可能かもしれません。
ご使用環境により耐性は変化しますので、ご使用に際しては検証の上ご判断いただけますと幸いです。
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