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Q パーフログレードでの選定をお願いします。
使用条件: 温度 300°C 、プラズマ: O2、Ar、N2＊積極的なプラズマ暴露箇所ではないようです。
パーフロ以外で使用可能な他材質もあれば、別途 ご教授の程、宜しくお願い致します。
A プラズマ耐性まで考慮すると弊社で対応できる材質はございませんが、あまり積極的に触れないのであればMP300Bをお試しいただければと思います。
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