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Q 材質選定をお願いします。
使用ガス H2、SiH2Cl3(ジクロロシラン)、BCl3(三塩化ホウ素)
圧力 常圧
温度 常温
客先よりパーフロ4275B が耐えられるかとの質問を頂いております。
不可の場合は、可能な材質を教えてください。

A 4275Bで使用出来ると推測致します。
※必ず使用できることを保証するものではございません

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