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Q 半導体製造装置 使用ガス WF6・SIH4・CLF3 真空ポンプ(14.5ヶ月使用)に使用していた
バイトンOリングが半分ほど消失していました。Oリングの材質を変更したいが何を推奨しますか?

A 指定の条件ですと4270Wを推奨いたします。

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