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使用環境 N3/N5 / ガス：トリメチルアルミニウム（TMA）
現行使用材：FKM→3-4weeksで交換、耐久性不足のため、貴社高機能材を選定希望です。
NEXUSまたはFFKMで推奨材ご確認いただきますようお願い致します。

Q 半導体製造工程 CVD（160-180℃）/DIFF（200℃）
使用環境 N3/N5 / ガス：トリメチルアルミニウム（TMA）
現行使用材：FKM→3-4weeksで交換、耐久性不足のため、貴社高機能材を選定希望です。
NEXUSまたはFFKMで推奨材ご確認いただきますようお願い致します。

A 4270Wを推奨いたします。

FKM
FFKM
パーフロ
フッ素
MP4270W
4270W
バイトン
W
B
4種D
ノンパーティクル

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