FAQデータベース
Q パーフロのカタログにおいて、パーティクル（％）という表現を初めてみました。パーティクルはサイズと個数で表されているのに慣れているのですが、どのような指標なのか説明可能でしょうか？
A パーティクル（％）とは、ドライエッチングで使用されるプラズマがOリングに触れた際に生じる微粒子の事を指しています。
パーティクル（％）とは弊社材質に対して行ったプラズマ試験の際に発生したパーティクルの重量分率になります。
お問合せ Contact
O-ring
A パーティクル（％）とは、ドライエッチングで使用されるプラズマがOリングに触れた際に生じる微粒子の事を指しています。
パーティクル（％）とは弊社材質に対して行ったプラズマ試験の際に発生したパーティクルの重量分率になります。
