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成膜室では耐アンモニア、耐プラズマ、最低250℃の耐熱性が必要であり、ゲートバルブ部分では耐アンモニア、150℃の耐熱性が必要となります。

Q 成膜装置でアンモニアガスを用いたプロセスがあり、成膜時には高温環境でプラズマを使用するので、耐熱、耐アンモニア、耐プラズマ性のあるOリング材質を探しております。
成膜室では耐アンモニア、耐プラズマ、最低250℃の耐熱性が必要であり、ゲートバルブ部分では耐アンモニア、150℃の耐熱性が必要となります。

A 最低250℃の耐熱性が必要な箇所では、耐熱300℃、耐アンモニア、耐プラズマ性のPERCITY-1075をご検討ください。
耐熱150℃の箇所でしたらNEXUS-708をご検討ください。

FFKM
パーフロ
NEXUS
NEXUS-708
耐熱性
耐薬品性

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