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Q 下記使用ガスでエッチングを行います。
CF4,SF6, CHF3, O2,Ar, C3F8
バルブや配管の温調はしないので、常温+α位の温度で使用予定です。
この条件で使用できる材質は何でしょうか。

A ご教授頂きました条件ですとMPPを推奨いたします。

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