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Q 成膜装置でアンモニアガスを用いたプロセスで、装置にロードロック室を追加する検討をしています。また、成膜時には高温環境でプラズマを用いるので、耐熱、耐アンモニア、耐プラズマ性のあるoリング材質を探しています。要求仕様は(成膜室:耐アンモニア、耐プラズマ、耐熱は最低250°Ｃ) (ゲートバルブ部分:耐アンモニア,耐熱150°Ｃ)になります。 ご教授の程、お願い致します。
A 成膜室:耐アンモニア、耐プラズマ、耐熱は最低250°Ｃ→弊社材質に対応できる材質はございません。ご了承ください。
ゲートバルブ部分:耐アンモニア,耐熱150°Ｃ→NEXUS-708をお試しいただければと思います。
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