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Q 使用装置:プラズマCVD(AMAT P5000)
ガス種:SiH4,NH3,N2O,CF4
処理室温度:400度
Oリング接触温度:65度
取付部位:ガス排気配管接続シール

A 排気配管であることを踏まえますとMPB、4275Bをお試しいただければと思います。

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