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Q ご推奨のOリング材質のご提案をお願いいたします。

・耐熱温度:200℃
・対象ガス種:O3ガス、水蒸気
・パージガス:N2
・装置:半導体製造装置(真空環境)
・金属溶出:極低溶出性

A 4275Bを推奨いたします。

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