
4270Wはパーフルオロエラストマー材となります。非常に優れた耐熱性と耐薬品性を有する材質です。
こちらの材質は半導体製造工程のドライエッチング用途向けに設計されております。カーボン不使用品であり、系への汚染を抑えることが可能です。この材質はプラズマの遮蔽性が高く、重量減少率を低く抑え、長くお使い頂ける材質となります。
| 分類 | パーシティーシリーズ |
|---|---|
| 材質名 | 4270W |
| 別称(旧名称) | 70W |
| 系統 | FFKM |
| 推奨温度 | 200℃~-15℃ |
| 硬度 | A70±5 |
| 色 | 白 |
| 主な使用用途 | 半導体、液晶製造装置など |
|---|---|
| 食品衛生法 | 〇 |
| その他 | - |
引っ張り、ひずみなどの、物理的な要因に対する試験結果です。
| 試験項目 | 単位 | 基準値 | 実測値 | |
| 常態試験 | タイプAデュロメータ硬さ | ー | 70±5 | 72 |
| 引張強さ | MPa | - | 13.93 | |
| 伸び | % | - | 150 | |
| 引張応力(100%時) | MPa | - | 9.67 | |
| 老化試験 200℃×70h |
硬さ変化 | ー | - | -1 |
| 引張強さ変化率 | % | - | 5 | |
| 伸び変化率 | % | - | -3 | |
| 圧縮永久ひずみ試験 200℃×70h |
% | - | 31 | |
主な流体に対する使用適正です。
◎:使用可
〇:影響あるが使用可
△:やむを得ないとき以外使用不可
×:使用不可
| 流体の種類 | 4270W |
| 潤滑油 | ◎ |
|---|---|
| シリコーングリース | ◎ |
| 作動油 | ◎ |
| 軽油・ガソリン | ◎ |
| クーラント液 | ◎ |
| 水糸切削油 | ◎ |
| 熱水・スチーム | ◎ |
| 有機酸類 | ◎ |
| 無機酸類 | ◎ |
| 無機アルカリ類 | ◎ |
| 酸化剤 | ◎ |
| 脂肪族炭素水素 | ◎ |
| 流体の種類 | 4270W |
| 芳香族炭素水素 | ◎ |
|---|---|
| 含ハロゲン炭素水素 | ◎ |
| メチルアルコール | ◎ |
| エチルアルコール | ◎ |
| エーテル類 | ◎ |
| エステル類 | ◎ |
| ケトン類 | ◎ |
| アルデヒド類 | ◎ |
| アミン類 | ◎ |
| N₂O₂Heガス | ○ |
| 耐真空性 | ○ |
| 食品衛生法適合 | ◎ |
一覧表にない薬品につきましてはこちらまでお問い合わせお願い致します。
Oリングを選定する際は使用する環境によって材質を、使用するミゾの寸法によってサイズを選定し、
材質とサイズ両方をお選びいただいたものが製品名になります。